【半導体業界向け】金属イオン溶出の無い自動着脱装置

金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ（特許技術）を用いてウェハ洗浄液…

電子材料製造工場で、原料ラインから移動槽間と、移動槽から充填機への間の基板の洗浄液投入作業を自動化しました。 接液部がすべてPTFEの自動着脱コネクタを開発し、金属イオンの溶出を0にしました。 また、内弁がPTFE一体成形のため洗浄性が非常に高いです。 ※Body部はPVCでの...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部