アプリケーション例『集積回路製造プラントのウェットプロセス』

腐食性ケミカルに最適なバルブをご提案

ムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず,流体の純度を高いまま保持します。 GEMÜ社よりPFA製のダイアフラムバルブ,ブロックバルブ,圧力計,超音波流量計が提案できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社