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層流や吸排気の管理、エアーの流れ方向の検知に。防爆エリアや高温環境にも…
【用途例】 ■クリーンルームの天井から降下する層流や吸排気の管理 ■ウェハー製造工程における洗浄・乾燥による異物除去でのエアー計測 ■金型の異物除去におけるエアー計測 ■クリーンルーム全体、または局所的なエアー計測 ■フィルム製造工程における塗布・乾燥ラインでの風量・風向きの管理 ■GMPに基づいた医薬...
メーカー・取り扱い企業: セントロニック株式会社
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