集束イオンビーム加工観察装置【加工事例有り】

数ミクロン以下のナノオーダーの加工技術！極低加速電圧による低ダメージ加…

【PRポイント】 ○φ1um以下の超微細穴加工が可能 ○微細な構造加工が可能 　...etc 【集束イオンビーム（FIB）加工の原理】 数十ナノメートル程度に集束したイオンビームを試料表面で走査する事で発生した2次電子を検出し 顕微鏡像の観察、試料表面の加工が可能。FIBのイオン源にはガリウムイオンを使用しており、その イオンビームを試料の表面に照射すると、 試料表面から2次電子が...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社