東レ・プレシジョン株式会社 集束イオンビーム加工観察装置【加工事例有り】
- 最終更新日：2023-10-18 16:10:48.0
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【PRポイント】
○φ1um以下の超微細穴加工が可能
○微細な構造加工が可能 ...etc
【集束イオンビーム（FIB）加工の原理】
数十ナノメートル程度に集束したイオンビームを試料表面で走査する事で発生した2次電子を検出し
顕微鏡像の観察、試料表面の加工が可能。FIBのイオン源にはガリウムイオンを使用しており、その
イオンビームを試料の表面に照射すると、
試料表面から2次電子が発生すると共に、ガリウムイオンが電子と比較してはるかに重い事から、
試料を構成する原子をはじき出すいわゆるスパッタリング現象が発生し、はじき出された原子は
2次イオンとなって試料から飛び出します。これらの現象を利用することで、観察と加工を行います。
【仕様】
・最大ワークサイズ 50(X)×50(Y)×10(Z)mm
・最小加工サイズ（目安） 溝幅：100nm(～L/D=3）、穴径φ200nm（～L/D=5）
・高プローブ電流による高速＆大面積加工
・極低加速電圧による低ダメージ加工(TEM試料作製等）
※加工例・実績例を掲載中です。詳しくはお問い合わせ、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
基本情報集束イオンビーム加工観察装置【加工事例有り】
※特長
・高プローブ電流による高速、大面積加工が可能。
・2次電子像分解能 5nm以下
・ビーム照射領域のみを選択的にエッチングするマスクレス加工が可能
・マスク製作の工程を省き、コストダウンのメリットが期待
・3D再構築解析により加工経過や状況を観察機能を、FIB装置に搭載。加工中に発生する課題も解決
※加工への応用と応用事例
試料へ照射するイオンビームの量を増やし、スパッタリングされる原子の量を増やすと試料表面をエッチング加工する事が
可能。これによって、イオンビームが照射された部分だけ選択的にエッチングするマスクレス加工を実現可能。
これらの技術を応用することで、試料の断面を露出させて観察する断面観察加工や、さらに試料を薄片として取り出すTEM
試料製作加工、またイオンビームの集束径が数十ナノメートル程度と非常に小さいため、φ0.5マイクロメートル以下の孔加工
や、幅0.5マイクロメートル以下のスリット（溝）加工などのサブミクロンオーダーの加工を行う事が可能。
ご要望に応えるだけで無くお悩みに一歩踏み込みご一緒に解決したいと思います。
是非、お気軽にご相談ください。
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カタログ集束イオンビーム加工観察装置【加工事例有り】
取扱企業集束イオンビーム加工観察装置【加工事例有り】
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○合成繊維紡糸用口金の製造販売 ○FPD関連のスリットダイ、塗布ノズルの製造販売 ○インクジェットノズルの製造販売 ○光通信コネクター等光通信関連精密部品・デバイスの製造販売 ○航空機用、産業ロボット用・半導体製造装置・産業用機器用等各種精密部品の製造販売 ○燃料噴射弁、各種流体噴射ノズルの製造販売 ○金属3Dプリンターによる部品の造形販売・造形品2次加工サービス ○パーツフィーダの製造販売 ○エア交絡ノズル、精密計量ギヤポンプ等繊維機械類の製造販売 ○FIBによるSIM像の3D再構築解析サービス ○各種のMicro-Engineering業務
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