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真空バルブ『Equalizer Control Valve』
ガスフローを均等にする必要があるプロセスに適した真空バルブ
『Equalizer Control Valve』は、圧力制御が可能な真空バルブです。 排気ポンプを内側に設置出来る為、省スペースに寄与し、ガスフローを 均等にする必要があるプロセスに適しています。 当社では、納期と予算を含め、ご要望に見合った特殊バルブをご提...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ブイテックス 本社
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半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍!多様なニーズに応えるラインアッ…
当社は、半導体やFPDなどの製造に用いられる 『超高・高真空用バルブ』の設計・製作を手がけています。 ただいま、各種製品を収録した“総合カタログ”を進呈中です。 微細化する半導体プロセスに対応した「True L-Motion Gate Valve」をはじめ、 大型化するFPD基板に対応した「Gate valve T-Motion」や、 少ないガス流量でも圧力制御可能な「APC Pen...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ブイテックス 本社
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