• 【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット 製品画像

    【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

    ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

    今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所

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