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フレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポ…
・優れた気密性 溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。 ヘリウムリークタイト:1×10(-6)~1×10(-10)Pa・立方メートル/sec ・コンタミネーションが無い 接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。 ・耐食性が高い 接ガス部の材質は劣化、腐食に強い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社IBS
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