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バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定 光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器 【特徴】 ○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得 取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める ○非接触かつ高精度に計測 ○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単 ○薄膜固定部の取り替え...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フォトンプローブ
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