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真空紫外線を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解!ppbオーダーのT…
半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、超純水中の有機物 (TOC) 濃度に対する要求値も厳しくなっています。 『FOVシリーズ』は高出力低圧水銀ランプから発生する真空紫外線 (185nm) を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解。ppbオーダーのTOCを低減 させるのに適しています。 また、縦型設計ですので設置スペースが限られた場所でもご使用いただ...
メーカー・取り扱い企業: フナテック株式会社 本社
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