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半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…
IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたしま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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分析装置・計測システムへの搭載に対応!装置の小型化が可能な高性能ターボ…
分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。...分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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