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立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応!水や低粘度液体から高粘度液体ま…
『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、 微細な凹凸に塗布ができます。 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、 キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で あった部分にも均一な膜を形成可能。 反射防止膜などの薬液をガラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社/静岡市、支店/東京・沼津・中部・大阪、営業所/横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸
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