【技術資料】真空紫外エキシマランプを用いたポリエチレンの表面改質

波長172nmの真空紫外光をポリエチレンシートに照射！表面の改質につい…

1980年代後半に、誘電体バリア放電を利用した強力な真空紫外光源である キセノンエキシマランプが開発されました。 この光源で得られる波長172nmの光は、7.2eVという高いエネルギーを持ち、 様々な分子内結合を効率よく光解離が可能。 このため、ランプは液晶表示パネルに使われるガラス基板の精密光洗浄などに 実用化されているのを始め、様々な応用展開が図られています。 本研究で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー