高周波計測器

RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能

・１％の精度で測定が可能。 ・1μsの時間分解能で測定が可能 ・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能 　（Ocye Poly Octiv Suite） ・イオンフラックスが測定可能　（Octiv Suite）...Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。 ・電圧 ・電流 ・フェーズ ・ハーモニクス ・インピーダンス ・イオンフラックス ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー