【解析事例】メタン燃焼条件の最適化

トレードオフ関係における最適解の探索に！多次元表示チャートの活用事例を…

詳細化学反応解析プログラム「CHEMKIN」と連成した、 メタン燃焼条件の最適化の事例についてご紹介します。 問題設定として、当量比Φ、予熱温度Tin、滞留時間τを変化させ、 NO濃度、CO濃度、及びCH4濃度がそれぞれ最小となる操作点を探索しました。 一般的に、NO濃度と燃焼効率に係るCO、CH4濃度はトレードオフ関係にあり、 非線形性が強く最適解を選び出すためには総合的な判断が必...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索

最適条件の探索に！多次元表示チャートの活用事例をご紹介！

詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生成速度最小）となる操作点を探索しました。 計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる ことが明確とな...

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