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3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。【ラインナップ／特長】《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど低圧条件のガス流れの解析ができる希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・ICP とCCP を同時にシミュレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
『Simerics MP for SOLIDWORKS』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

or SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで開発期間の短縮や品質の向上、コスト...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

ミュレーションに活躍。お客様のニーズに合わせた対応も可能です。【ラインナップ】《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど低圧条件のガス流れの解析ができる希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
真空装置向け希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析・自社開発ソフ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,...

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粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

te Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。...

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ICPにも対応解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・ICP とCCP を同時にシミュレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析・自社開発ソフトの強み...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,...

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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

US』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

US』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

US』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元)3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「AC マグネトロン…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

ュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

US』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

US』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「対向ターゲット式ス…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介外部回路としてπ 型マッ…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

ョンソフトウェアです。・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。・低圧プラズマ解析を得意とします・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

アです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CAD上でカンタンCFD『Simerics MP for SW』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

or SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで開発期間の短縮や品質の向上、コスト...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社
CADでカンタン流体解析『Simerics MP for SW』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

or SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで開発期間の短縮や品質の向上、コスト...

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