株式会社ウェーブフロント 【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈
- 最終更新日：2022-11-22 09:35:56.0
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当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。
希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、
有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。
「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」
「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。
また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。
【ラインナップ／特長】
《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》
■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応
■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能
《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》
■低圧のプラズマシミュレーションが可能
■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈
【その他の特長】
■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、
真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用
■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能
■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを
計算することが可能
■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られます
■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり、
品質の悪い計算格子が有っても、必ず収束解を得られます
■充実した技術サポートにより、シミュレーションが初めての方や
実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能
◆さまざまな計算結果を出力◆
・化学反応の計算
・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算
・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算
・GUI上で、複数の反応式を設定も可能
・成膜速度分布
・電子とイオンの密度分布
・ラジカルと励起種の発生分布
・イオンフラックス分布
・エロージョン速度分布 など
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 | ~ 1週間 |
| 型番・ブランド名 | 『DSMC-Neutrals』『Particle-PLUS』 |
| 用途／実績例 | ◆有機EL ( OLED ) シミュレーション ※有機ELシミュレーションにおける成膜速度の均一性、形状の最適化、成膜分布の有機材料温度依存性など ◆分子線エピタキシー ( MBE ) シミュレーション ※分子線エピタキシーシミュレーションにおける分子線セル形状、成膜分布の均一性、濃度分布の最適化など ◆シャワーヘッド型 CVD ( 化学気相成長 ) ※成膜速度の評価 ※膜の均一性の評価 ※気相中の膜成長に影響を及ぼすラジカルの分布 ※基板表面の濃度分布 ※シャワーヘッド部分からチャンバー内へ流入するガス流速や流量の評価 ◆真空ポンプの排気シミュレーション ※コンダクタンスの温度・断面積依存性、ガス溜まり・脱ガスの影響など ◆マクロパーティクル ( ダスト ) の挙動 ※チャンバー内におけるマクロパーティクルの影響など ◆極超音速希薄流 ※物体周りの密度・温度分布、化学反応の影響など ◆衝撃波 ◆ベナール対流 ◆チャンバー内のダストの挙動 ※重力を考慮する必要があるダストの，膜への影響 |
カタログ【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈
取扱企業【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈
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株式会社ウェーブフロントの企業理念は、 日本の製造業における研究開発～設計～製造～メンテナンスまでのプロセスをシミュレーションという観点からサポートし、 企業活動の高度化・効率化に寄与することです。 弊社ではこの企業理念の下、 CAEと設備資産管理、 信頼性に関するソリューションを提供しています。 CAEの分野では流体解析からマルチフィジックス解析まで各種シミュレーションソフトウェアと これに関連するプリプロセッサ・ポストプロセッサを、設備資産管理の分野では、各種の装置・設備のメンテナンス管理ソフトウェアを、機能安全・信頼性の分野では故障率のコンサルティングからツールの提供まで一貫したサービスを行っています。
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