【分析事例】有限要素法による強誘電体キャパシタ金属の応力評価

昇温・降温時の異種材料間にかかる応力分布を定量化できます

相を増やす方法が提案されています。本事例は有限要素法を用いて、TiN、W、Pt、HZOなどの線膨張係数が異なる材料から構成される積層構造において、降温時に各層に生じる応力を評価しました。 測定法：計算科学・AI・データ解析 製品分野：LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品 分析目的：形状評価・構造評価・応力・歪み評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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