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    【分析事例】溶液中の金属量調査

    純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です

    ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属元素の濃度領域はpptオーダーから主成分レ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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