『ヘンツ社製 クリーンルーム向け風速センサ』※事例進呈

層流や吸排気の管理、エアーの流れ方向の検知に。防爆エリアや高温環境にも…

【用途例】 ■クリーンルームの天井から降下する層流や吸排気の管理 ■ウェハー製造工程における洗浄・乾燥による異物除去でのエアー計測 ■金型の異物除去におけるエアー計測 ■クリーンルーム全体、または局所的なエアー計測 ■フィルム製造工程における塗布・乾燥ラインでの風量・風向きの管理 ■GMPに基づいた医薬品製造におけるプロセス管理...

メーカー・取り扱い企業： セントロニック株式会社