大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローで…

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、 流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。 ＊保護等級　IP 65　取得機種有り ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社