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先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制!!
【特徴】 ・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適 化。 ・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。 ・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で す。 ・最大通水量:3,000L/h、圧力損失:0.06MPa at 3,000L/h ・運転スイッチを押して電気抵抗率を入力すれば、瞬時に設定値 ±0.03MΩ・cmで制...
メーカー・取り扱い企業: 日東機器ファインテック株式会社
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