ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング（オプション） ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装