クリーンルーム連続監視システムソフトウェア「CMS」

製造ライン及び製造装置の清浄度測定に最適。多点清浄度監視システム。

本システムは、半導体、液晶、精密電子部品、製造装置、医薬品、食品等の製造ラインおよび製造装置内の清浄度を、各測定ポイントに設置し、連続監視データを通信によりモニタリングソフトウェア(CMS)にてデータを取込むシステムです。 清浄度監視システムは、「CMS」の標準版とPart11対応版2種類をご用意しております。 チューブ切替式（マニホールド式）との混在システムも可能です。 温度、湿度、差圧、...

メーカー・取り扱い企業： トランステック株式会社