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再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能!真空計として優れ…
を犠牲にすることなく、 スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 ■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、 プロセス圧力コントロールにも使用できる ■高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能 ■体積比にて40%の省スペース、省電力化を実現(従来機「M-310HG」と比較) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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