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ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…
ブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、 排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。 カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の マニュアル操作を行うことが出来ます...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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