マグネトロンスパッタ装置『LA-S2020』

各種デバイス・センサー用膜厚電極としても作成可能なマグネトロンスパッタ…

ベルジャー：外径φ100(内径φ83)×高さ70Hmm：ガラス製 ■試料台：Φ40mm：標準 ■T/S 間距離：30mm～50mm：標準30mm ■真空ポンプ：直結型2 段式ロータリーポンプ10L/min 以上 ■外観寸法：約290(W)×460(D)×345(H)mm ■装置質量：約15kg(ポンプ含む) ■設置電源：単相AC100V±10％ (50/60Hz) 0.5KVA 　...

メーカー・取り扱い企業： ラボテック株式会社