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故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール
一XYスキャナー ・スキャン範囲:100μm×100μm、50μm×50μm(オプション)、25μm×25μm(オプション) ・20ビット位置制御と24ビット位置センサ ■Zスキャナー ・フレクチャー式クローズドループスキャナー ・スキャン範囲:15μm(オプション30μm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合...
メーカー・取り扱い企業: パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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