ワイドレンジ真空計　CC-10

大気圧から超高真空まで、1台の真空計で連続して自動計測できます。

CC-10ワイドレンジ真空計は、大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。 従来、荒引き用と高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す(パージ)ための真空スイッチ(大気圧センサー)を使用して別々に測定していた圧力計測システムが、このCC-10ワイドレンジゲージ1台で可能になります。 センサーと回路を一体にして、圧力表示も付いています。 CC-10を真空チャ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…

『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく 割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社