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医療用途・光学部品に!イニシャル、ランニングコスト低減ができるプラズマ…
【仕様】 ■製膜方式:PIGプラズマCVD装置 ■装置設置スペース:W4000×D3000×H2700 ■標準処理寸法:φ140×H600×12軸 ■操作方法:全自動制御 ■標準ガス:Ar、H2、C2H2、TMS、O2 ■基板加熱ヒーター:標準装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東製株式会社
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