超高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

1μmの剛性・送り精度・直進性を兼ね備えたアクチュエータ

本製品は、高精度な微小直動送りが必要とされる光学機器のレンズ・ ミラー移動、微小角度調整や半導体製造装置のアライメントステージ X・Y・θ軸調整部などに用いられる直動アクチュエータです。 ガイド部には非開放型ローラ式ガイド「ミリオンガイド」の活用と 独自構造の開発により、サブミクロン単位での超高精度微小送りと 高速送りの両立化を実現。 お客様の要望に合わせてストロークの長短・ス...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ　20角』

【超小型版が新登場】当社比で58％のスペース削減を実現！繰り返し位置決…

当社比で58％のスペース削減を実現した”20mm角サイズ”の超小型版が新登場！！ 『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレン...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社