精密流量計測用　高精度流量計

精密流量計測が可能に！

ガス・真空・低温機器供給のR&D 川口液化ケミカル社が取扱う「高精度流量計」のご紹介です...【特徴】 ■流体名 :　Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2 ■流量レンジ：0.5〜5ML/minから3〜30L/min ■精度：FS ±2%（計測ポイント） ■耐圧 　・100ML/min以下　1.0Mpa 　・5L/min以下　0.7Mpa 　・10L/min以下　0.5...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

高圧用　汎用型アナログマスフローコントローラー　5850E

半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用な…

コストパフォーマンスを徹底追及した、アナログマスフローコントローラ...【特徴】 ■汎用ガスラインに最適 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度±1% F.S.　応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　30mL/min〜30L/minでご注文時にご指定 　フルスケールが10〜100L/min対応モデルの5851...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

流量計内臓型　ガス混合装置

流量比混合方式を採用

ガス・真空・低温機器供給のR＆D 川口液化ケミカル社が取扱う、流量計内臓型ガス混合装置のご紹介です...【特徴】 ■混合方式：流量比混合方式 ■流量範囲：10ML/min〜20L/min ■適応ガス：Air,N2,O2,He,Ar,CO2 ■精度：FS±2% ■使用温度範囲：4〜40℃ ■接続口：Rc1/4” ■寸法：150(W)x300(D)x240(H)mm □その他機...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

ローコスト　マスフローコントローラ　SFC280ERC

真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応

ガス・真空・低温機器供給のR＆D、川口液化ケミカル社が取扱う ローコスト・マスフローコントローラのご紹介です...【特徴】 ■メーカー：日立金属株式会社 ■型番：SFC280ERC ■仕様：精度±2%　応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜5SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

コンパクトディジタル　マスフローコントローラ

300mmウエハープロセスに対応

ワイドレンジでの高精度、高速応答を実現したマスフローコントローラ...【特徴】 ■メーカー：日立金属株式会社 ■仕様：精度±0.5%　応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、内面特殊電解研磨仕様 ■継手サイズ：1/4UJRタイプ、各社IG...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

精密流量計測制御用　精密ニードル弁付流量計

精密流量計測制御用に最適

ガス・真空・低温機器供給のR&D 川口液化ケミカル社が取扱う「精密ニードル弁付流量計」のご紹介です...【特徴】 ■流体名：Air,N2,O2,H2,Ar,CO2 ■流量レンジ：0.5〜5ML/minから3〜30L/min ■精度：FS ±2%（計測ポイント） ■耐圧 　・100ML/min以下　1.0Mpa 　・5L/min以下　0.7Mpa 　・10L/min以下　0.5...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

スタンダード・フロート式流量計　FD-07NV

微小流量から大流量まで高い精度で計測可能

ガス・真空・低温機器供給のR&D 川口液化ケミカル社が取扱う「スタンダード・フロート式流量計」...【特徴】 ■メーカー：ヒヨシ機械産業株式会社(旧株式会社小野製作所)製 ■仕様：精度フルスケール±2% ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲 　フルスケール　1L/min〜50L/minでご注文時にご指定 　（ガス種により範囲が狭まる場合あり） ■本体材質：SUS、バイトン ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所