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1nm分解能で位置決めステージを制御!
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...型式:FC-911 接続対象ステージ:FS-10□0UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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