1nm分解能で位置決めステージを制御!
1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。
ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。
コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。
基本情報1nmフィードバックステージコントローラ FC-911
型式:FC-911
接続対象ステージ:FS-10□0UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ、
ステージ制御軸数:2
最小指令単位:1nm
インポジション範囲:±1nm(±3nm、±7nm 選択可)
最大動作速度設定値:6mm/s(接続ステージの性能が優先)
制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド)
電源:AC100V~240V
価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FC-911 |
用途/実績例 | 最先端の研究(X線を利用した研究)等 |
カタログ1nmフィードバックステージコントローラ FC-911
取扱企業1nmフィードバックステージコントローラ FC-911
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