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人工気象器<クローズド型>疑似太陽光SUNRAY LIGHT搭載
PR調光仕様です。アラビの育成など植物の耐環境試験に!対話式液晶パネルで操…
スタンダードなクローズド型人工気象器に疑似太陽光 蛍光灯型LED「SUNRAY LIGHT」照明を標準装備した省エネモデルです。 短日処理、日長処理等研究に応じた環境制御が行えます。制御方法は定値運転と昼夜切替運転の切替式とプログラム制御の2タイプがあります。 プログラムの時間設定は、「積算方式」と「実時刻方式」から選択できます。温度・湿度制御は3位置方式を採用しており、省エネ効果があります。サイ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本医化器械製作所 本社
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様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です!
『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式 プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズ200mm(8インチ)に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等の多様なプロセス用途に 利用が可能です。 【特長】 ■同軸バレル構造 ■50枚バッチ式 ■ウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー
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