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流量0~5,000ml/分/ch (入力ガス3~6chに対応)・実ガス…
・各チャンネルの入口ガス流量:0~5,000mL/分 ・出口混合ガス流量:3チャンネル 15L/分、4チャンネル 20L/分、6チャンネル 30L/分 ・精度:±50mL/分(0~500mL/分)、±10mL/分(500~5,000mL/分) ・応答時間:0.5秒 ・各チャンネル...
メーカー・取り扱い企業: 日本カンタム・デザイン株式会社
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流量0~500ml/分/ch (入力ガス3~6chに対応)・複数MFC…
・各チャンネルの入口ガス流量:0~500mL/分 ・出口混合ガス流量:3チャンネル 1.5L/分、4チャンネル 2L/分、6チャンネル 3L/分 ・精度:±1mL/分(0~25mL/分において)、±0.25~5mL(25~500m/分において) ・応答時間:0.1秒 ・各チャンネルの...
メーカー・取り扱い企業: 日本カンタム・デザイン株式会社
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流量0~500ml/分/ch (入力ガス3chに対応)・ガス制御の高い…
・各チャンネルの入口ガス流量:0~500mL/分 ・出口混合ガス流量:3チャンネル 1.5L/分 ・精度:±1mL/分(0~25mL/分において)、±0.25~5mL(25~500m/分において) ・応答時間:0.05秒 ・高コストパフォーマンスモデル ・各チャンネルのガス成分、流...
メーカー・取り扱い企業: 日本カンタム・デザイン株式会社
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