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各種デバイス・センサー用膜厚電極としても作成可能なマグネトロンスパッタ…
m:ガラス製 ■試料台:Φ40mm:標準 ■T/S 間距離:30mm~50mm:標準30mm ■真空ポンプ:直結型2 段式ロータリーポンプ10L/min 以上 ■外観寸法:約290(W)×460(D)×345(H)mm ■装置質量:約15kg(ポンプ含む) ■設置電源:単相AC100V±10% (50/60Hz) 0.5KVA D 種接地 3P コンセント(1m) ■設...
メーカー・取り扱い企業: ラボテック株式会社
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