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有機物の除去・クリーニング可能!ガス導入せず残留大気で処理するタイプよ…
■仕様 型式 YHS-O (※O=オー) 外形寸法 (W)210×(D)230mm×(H)315mm (突起部分を除く) ステージ(処理電極)寸法 Φ100mm ・ 電極間距離 60mm 重量 約6.0 kg 動作ガス 標準:O2 排気調整 調整不可 タイマー 設定値:0〜9999 秒(1 秒単位) ※お問合せまたは、下記よりカタログをダウンロードしてご覧くだ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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