【導入事例】GaN製造装置のガスノズルの設計最適化

計算時間を大幅に短縮！プロセスインフォマティクス導入事例をご紹介！

「GaN(ガリウムナイトライド)」とは、5G基地局の電源としても採用が 期待されている、パワー半導体です。薄切りの円盤のウエハとして使われるのが 一般的ですが、最初に製造する状態は円柱形です。 GaNの円柱は、下から空いた穴からGaNの原料となるガスを噴出し、結晶を 成長させます。実際の穴は100個以上で、無限の組み合わせがあります。 シミュレーションをすると、それにかかるのは1...

メーカー・取り扱い企業： アイクリスタル株式会社