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    バッチ式プラズマクリーナー PT-655S

    本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。

    Ar(オプション 1ライン増設可) ○パージガス N2(スローライン有) ○処理ステップ 10レシピ(3ステップ) ○真空ポンプ ロータリーポンプ 1300L/min ○本体寸法 幅880×奥880×高1600mm ○本体重量 約400kg ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト

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