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ウエハーの検査に好適!サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します
。 レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。 また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を 基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性の 取れる計測結果を実現しました。 【特長】 ■計測時間短縮 ■低価格設定 ■防振台不要 ■非接触計測 ■広範囲計測可能 ■簡単操作 ■高分解能 ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業: ツクモ工学株式会社 本社工場
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