【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プレッシャーレギュレータ『MODEL 6700 SERIES』

設定圧力(気体)は二次側0.01～0.6MPa(G)！当社が取り扱うノ…

『MODEL 6700 SERIES』は、最大流量50L/minの大流量用プレッシャー レギュレータです。 ノンブリード仕様で、環境温度は5～60℃。最低動作差圧は0.05MPaです。 また、一次側圧力変動、二次側圧力変動に対して、再現性±1％の高い 制御性を有しております。 【標準仕様(一部)】 ■一次側最大圧力：0.9MPa(G) ■二次側設定圧力 　・6700A：...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡