測定器『FLA-200』

ウエハフラットネス測定システム！

エハサンプルのフラットネス(TTV、BOW、WARP)、厚さを測定します。 厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネス の測定に対応 （ASTM準拠）しており、CSVファイルでのデータ出力も可能 です。 また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア ■5mmφコア静電容量式...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社