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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…
指令単位：50nm インポジション範囲：±50nm（±150nm、±350nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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