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筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。
1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチングを考慮し、必要風量に応じたファンモータを 組み合わせることで最適なFFUを提供いたします。 2.各種フイルタの搭載が可能 HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス 除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング...
メーカー・取り扱い企業: トーアメック株式会社
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