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    吸着再生式排ガス処理装置

    エッチングプロセス用の湿式除害装置です。

    本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 【特長】 ・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。 ・水のみを使用...

    メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

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