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気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、効率よく気化が可能です
High-kや各種メタルなど、熱分解しやすい液体気化に適した気化器です 【特長】 ○液体を気化器の器壁(金属製)に接触する機会が少なく、 (軽接触)効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化(US PAT.5372754) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所
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