大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローで…

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、 流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。 ＊保護等級　IP 65　取得機種有り ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応…

CANOpenに対応したMFC ●高速応答（最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内） ●10[ml/min]～1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ ●保護等級IP65...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社