高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウ…

※2024.12.11～13　SEMICON Japan 3Hall #3121ブースで出展・当製品を出展します！ シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジイエムシーヒルストン