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炉内雰囲気管理のための露点計(水分計)、酸素濃度計等による測定
一部で採用されています。また、応答速および精度を要する場合、鏡面冷却式(ミラー式)露点計MBW973/MBW573が使用されております。酸素濃度測定のためには、PPMまで応答速良く測定可能な2001LCガルバニ電池式酸素濃度計、1000RSポータブル酸素濃度計が使用されています。 また、リサイクルガスの純度や精製水素の純度をTK-100露点計、腐食性ガス中水分計TMAシリーズで測定します。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクネ計測
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半導体製造・クリーンルームでの露点計・酸素濃度計・温湿度計・風速計のご…
湿度の領域では簡易型のEE060、高温・高湿下での測定を主とする結露防止環境下での対策が施されたEE33温湿度計などが主に使用されています。 酸素濃度計測では、水素置換による酸素除去の際には2001LCガルバニ電池式酸素濃度計でPPMまで、水素が存在しない状況ではModel 4100ジルコニア式酸素濃度計でPPBまでの分析を行うなど、様々なシーンで使用されます。 また、クリーンルームや製造装置内の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクネ計測
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